製品情報

RF cutting filter for DC power supply

RF周辺機器

DC電源用 RFカットフィルター

Plasma RF generatiors

  • ・同一電極にRFとDCを同時供給する場合でもDC電源にダメージを与えません。
  • ・RF電極に影響与えないように高インピーダンスで結合させます。
  • ・ESC仕様(高電圧)のフイルターも準備しております。