製品情報

Coaxial switch for matching box switchover

RF周辺機器

整合器切替用 同軸切替器

Plasma RF generatiors

  • ・同軸切替器を使用し、1台のRF電源で、複数の整合器にRFを選択供給します。
  • ・電気的切り替え式及び手動切り替え式を準備しています。