製品情報

Phase

RF周辺機器

位相シフター

Plasma RF generatiors

  • ・複数台数のRF電源出力位相を一定制御します。
  • ・整合器出力電圧位相(電極位相)をフィードバックし、環境変化に対しても一定制御します。
  • ・13.56MHzが標準ですが、27.12MHz、その他VHF帯も対応可能です。