製品情報

高周波電源

高周波電源

高周波RF電源 /
高効率パルスRF電源

マッチングボックス内蔵型高周波電源

独自の機構により、高周波電源の内部に整合器を内蔵した高周波電源を開発致しました。

従来の製品と比較し出力を500W→750Wにアップさせましたが、サイズはフルラックサイズからハーフラックサイズに収まるサイズにし、徹底したコンパクト化を図りました。

ローコスト

  • ・高周波電源の内部に整合器を内蔵することによって、低価格化を実現。
  • ・高周波電源を整合器の位置に設置できるため、高周波電源を納めていたラック等も不要
  • ・高周波電源-整合器間のケーブル、整合器給電用ケーブルも不要になりました。

省電力

  • ・NRM075A-01は、高効率アンプを採用し、AC-RF 変換効率70%以上を実現致しました。
  • ・高周波電源-整合器間のケーブルが不要な為、ケーブルの抵抗によるロスがありません。

コンパクト設計

  • ・整合器が内蔵されているタイプとしては、従来タイプの1/2 にコンパクト化されています。
  • ・ローカル制御は遠隔操作のハンディコントローラで可能。リモート制御はアナログI/Oおよびシリアル通信が可能な為、複雑なケーブル配線も不要となりました。

型式 - NRM075A-01

周波数 13.56MHz
定格出力 750W
入力 200VAC 3Ø 50/60Hz
スプリアス -45dB
冷却方式 空冷式
外形寸法 H177×W215×D448mm

型式 - NRM1A-01

周波数 13.56MHz
定格出力 1kW
入力 200VAC 3Ø 50/60Hz
スプリアス -40dB以下
冷却方式 空冷式
外形寸法 H239×W430×D500mm

型式 - NRM1A27M-01

周波数 27.12MHz
定格出力 1kW
入力 200VAC 3Ø 50/60Hz
スプリアス -40dB以下
冷却方式 空冷式
外形寸法 H239×W430×D500mm

出力は同軸ケーブルと銅板の2タイプを用意致します。