製品情報

高周波電源

高周波電源

2周波・3周波・4周波・広帯域RF電源

2周波・3周波・4周波・RF電源の特徴

1台の電源で2~4の周波数を交互に出力できますので、CVDプロセス等で高周波の重畳による高密度化に貢献致します。

従来のRF電源ではできなかった複数の周波数の組合わせによって、新プロセスの開発に貢献致します。

2周波

型式 出力 周波数
NR5N13/27M-01 5kW 13MHz/27MHz
NR2NP27M/40M-01 2kW 27MHz/40MHz

3周波

型式 出力 周波数
NR5N27/40/54M-01 5kW 27MHz/40MHz/54MHz
NR1N13/27/54M-01 1kW 13MHz/27MHz/54MHz

4周波

型式 出力 周波数
NR1N13/27/54/60M-01 1kW 13MHz/27MHz/54MHz/60MHz

広帯域RF電源の特徴

幅広い周波数が出力できます。企業の研究部門、大学等の研究機関で広くご使用頂いております。

広帯域

型式 出力 周波数
NR1B015-15M-01 1kW 150kHz-15MHz
NM06M13M-54M-01 600W 13MHz-54MHz
NR05B20-70M 500W 20MHz-70MHz
NR03F60-180M-01 300W 60MHz-180MHz