製品情報

F(周波数)マッチ高周波電源

F(周波数)マッチ高周波電源

13.56MHz 1kW

周波数を可変させてマッチング調整を行う高周波電源です。

特徴

  • ・マッチングボックスが不要でコンパクト設計、低コスト化が実現できます。
  • ・電子制御で稼動部がなく、メンテナンスフリーです。
  • ・超高速でのマッチングが実現できます。

型式 - NR1S13M-01

出力電力範囲 0-1200W(内部キャリブレーション機能使用時)
最大定格1000 W
定格最大出力 1000W(50Ω負荷)連続
出力方式 連続出力
出力インピーダンス 50±2Ω
RF出力コネクタ HN-R
出力調整範囲 0~1200W連続可変(設定は1W刻み)
定格出力電力1000W
出力周波数 13.56MHz
周波数安定度 ±0.01% (10-40℃) 水晶発振
周波数可変範囲 13.2MHz-15.0MHz(Fマッチ動作時に限る)
冷却方式 強制空冷
背面吹出し
外形寸法 W430×D640×H174
重量 約29kg