製品情報

自動整合器

自動整合器

自動整合器

高性能自動整合器

周波数: 100kHz~915MHzまで製作可能 (周波数によって、整合器タイプが変わります。)
出力 : 1kW-50kW(13.56MHzの場合)
※周波数によって変わりますのでRF-GENERATOR製品マトリクスをご参照下さい。

NRFの自動整合器は、1台から、お客様の仕様・装置に合わせて設計致します(カスタム設計)

お客様の様々なプラズマ負荷に対し、ベストマッチングするよう、また、広い整合範囲に対応できるように設計しておりますので、安定したプラズマを装置に供給致します。

特徴

  • ・LF帯~UHF帯まで幅広い周波数に対応
  • ・DC重畳用自動整合器もご用意しております
  • ・2周波、3周波対応タイプもご用意しております
  • ・再現性が高い… デジタル化により数値管理
  • ・残留反射電力を低減…小電力から定格出力
  • ・高速整合…独自の加速制御を採用(高速パルスにも対応)
  • ・長寿命… ブラスレスモーターを採用
  • ・プリセット機能が充実
  • ・ハンディコントローラーによる…ストレスフリー操作

カスタム設計

NRFの自動整合器は、一品一品お客様の仕様・装置に合わせて設計致します。
お客様の様々なプラズマ負荷に対し、ベストマッチングするように設計しておりますので、安定したプラズマを装置に供給致します。

ハイスピードマッチング

当社開発技術によりハイスピードマッチングを実現しております。

複数の周波数の重畳に対応

NRFの自動整合器は、複数の周波数の重畳また、DC電源との重畳に対応しております。

例 型式―NM5A-03

周波数 13.56MHz±0.01%
通過電力 5kW (最大電流70Arms)
入力インピーダンス 50Ω
整合モード 自動又は手動(切り替え可能)
入力コネクタ LCメス又は打合せ
出力 ブスバー又は打合せ
冷却方式 水冷/空冷併用
整合時間 プリセット使用時0.5Sec以内
外部アナログI/O 0-10.0V
外部シリアル通信 RS232C/RS422/Device Net
*対応機種に関しましては別途御相談下さい。
電源 84VAC-220V/24VDC(80VA)