NM1A-xx/NM2A-xx/NM3A-xx

高速マッチングが可能な自動整合器です。 装置の近くでマッチング調整可能なハンディーコントローラを付属しています。
製品紹介
高速マッチングが可能な自動整合器です。 装置の近くでマッチング調整可能なハンディーコントローラを付属しています。
通過RF電力 | 1000W 200W 3000W |
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周波数 | 13.56MHz |
AC入力 | AC100~200[V] 1φ |
バリコン | 真空バリコン |
入力インピーダンス | 50Ω |
冷却方式 | 空冷式(1kWまで)、空冷水冷併用(2kW~3kW) |
RF入力コネクタ | HN型 |
RF出力 | 銅板出力 |
外形寸法 | DXXX×WXXX×HXXX |